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1、指標評估的對象不同：

靈敏度評估的對象是傳感器的輸出和輸入之間的關系。分辨率是指傳感器可感受到的被測量的最小變化的能力。精度用來評估傳感器測量系統(tǒng)測量精度。

2、表示方法不同：

靈敏度表示為：輸出量的增量與引起該增量的相應輸入量增量之比。用S表示靈敏度。它是輸出一輸入特性曲線的斜率。靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。分辨率常用滿量程中能使輸出量產(chǎn)生階躍變化的輸入量中的最大變化值作為衡量分辨率的指標。精度常用精確度來表示。

3、精度是表示測量值離散的程度；靈敏度指示器的相對于被測量變化的位移率；分辨力是顯示裝置能有效辨別的最小的示值差。

精度：是表示測量值離散的程度。在對一個量進行無窮多次測量時，測量結果會呈現(xiàn)下圖所示的正態(tài)分布。測量儀表（包括傳感器）的精度就是指測量結果 99.73% 的可能（這里跳過關于統(tǒng)計學知識的討論）偏離真值的范圍。對于測量儀器來說，精度是一個定性的概念，一般不用數(shù)值表達。

和精度相類似的儀器指標還有準確度：指在一定實驗條件下多次測定的平均值與真值相符合的程度，以誤差來表示。例如：

儀器允許產(chǎn)生的誤差為量程的0.5%。即準確度0.5%或0.5級；

儀器允許產(chǎn)生的誤差為正負某個數(shù)值。

精度和準確度有相似性，但兩者的定義是不同的。精度是表示測量值離散的程度。準確度表示觀測值與真值的接近程度。平常所說的“精度"實際上很多時候是指準確度。

靈敏度：指示指（輸出）的相對于被測量變化的位移率。在數(shù)值上指測量儀器響應的變化除以對應的激勵變化。由于靈敏度可能與激勵值有關。所以不同儀器對于靈敏度的數(shù)值或表達方式的會有所不同。對于傳感器來說，常見的是以傳感器的闕值（能使傳感器輸出端產(chǎn)生可測變化量的被測量的最小變化量）來表示。